阿斯麥與imec簽署備忘錄 共同開發(fā)最先進(jìn)high-NA EUV微影試驗(yàn)制程
2023-06-30 10:14:29
來源：科技頭條
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據(jù)科創(chuàng)板日報(bào)，比利時(shí)微電子研究中心(imec)與阿斯麥(ASML)今日宣布，雙方已簽署備忘錄加強(qiáng)合作，共同開發(fā)最先進(jìn)high-NA極紫外光(EUV)微影試驗(yàn)制程。雙方指出，該試驗(yàn)制程的目標(biāo)是協(xié)助采用半導(dǎo)體技術(shù)的所有產(chǎn)業(yè)，并提供一套能在未來支援創(chuàng)新的原型設(shè)計(jì)平臺。
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